SÉOUL, Corée du Sud, 19 février 2025 -- Park Systems, un leader mondial de la microscopie à force atomique (AFM), a dévoilé une série élargie d'AFM à grand échantillon FX au salon SEMICON Korea 2025. Fort du succès du Park FX200, qui a fait ses débuts au SEMICON West 2024 et a depuis gagné une forte traction sur le marché en Allemagne, au Japon et en Corée, Park Systems présente le Park FX300 pour l'analyse des plaquettes de 300 mm, aux côtés du Park FX200 IR et du FX300 IR, qui intègrent la spectroscopie infrarouge (IR), repoussant ainsi les limites de la technologie AFM à grand échantillonnage.
À l'heure où les plaquettes de 300 mm deviennent le standard de l'industrie des semi-conducteurs, le Park FX300 est conçu pour ceux qui recherchent une analyse de haute précision sans la complexité d'un système en ligne entièrement automatisé. Il s'agit également d'une solution idéale pour les entreprises qui envisagent de mettre en œuvre l'AFM avant de passer à la fabrication en ligne.
Optimisé pour les applications industrielles et de recherche, le Park FX300 devrait changer la donne en offrant des capacités avancées d'analyse et de contrôle qualité dans une large gamme de techniques AFM. Il est équipé de fonctions spécialisées telles qu'une platine coulissante pour les mesures de planéité à longue portée des plots de cuivre dans le post-traitement des semi-conducteurs, une platine de rotation pour l'alignement précis des échantillons dans l'emballage au niveau des plaquettes, et un système d'optique hors axe pour une meilleure visualisation de l'échantillon. En outre, son unité de filtration à ventilateur (FFU) garantit un environnement contrôlé et exempt de toute contamination, ce qui en fait un outil idéal pour les applications en salle blanche.
Park Systems a également introduit les modèles FX200 IR et FX300 IR, étendant sa technologie AFM au domaine de l'analyse chimique à l'échelle nanométrique. En intégrant la spectroscopie infrarouge à transformée de Fourier (FTIR) à l'AFM, ces modèles utilisent la microscopie à force photo-induite (PiFM) pour permettre l'identification chimique avec une résolution spatiale inférieure à 5 nm. Cette avancée permet aux chercheurs et aux ingénieurs d'analyser la composition chimique des structures à l'échelle nanométrique sans endommager les surfaces des plaquettes, ce qui ouvre de nouvelles possibilités pour la caractérisation des matériaux dans les applications liées aux semi-conducteurs, aux polymères et aux sciences de la vie.
Conçus pour les échantillons de petite taille jusqu'aux plaquettes de 200 mm ou 300 mm, FX200 IR et FX300 IR permettent une imagerie spectrale infrarouge à haute résolution, offrant un aperçu sans précédent de la composition des matériaux et des interactions moléculaires. Grâce à sa capacité à capturer des informations sur les liaisons chimiques à une échelle ultrafine, il améliore l'analyse des défauts des semi-conducteurs, la recherche sur les polymères et la caractérisation des matériaux avancés avec une précision inégalée.
Enracinée dans la philosophie de Park Systems, qui consiste à maximiser l'efficacité tout en minimisant l'intervention manuelle, la série FX Large Sample AFM améliore la convivialité grâce à la reconnaissance et au remplacement automatisés des sondes, à un système de code QR pour la surveillance de l'état des sondes et à un alignement laser piloté par l'IA pour un fonctionnement sans faille. La fonction StepScan™ renforce encore l'efficacité en permettant des mesures séquentielles automatisées à des coordonnées prédéfinies, ce qui permet aux chercheurs d'analyser la topographie, les propriétés électriques, mécaniques et magnétiques avec une intervention manuelle minimale. En particulier dans les applications IR, où l'alignement du laser est souvent un défi important, le système automatise entièrement le processus, rendant l'analyse chimique à haute résolution plus accessible que jamais.
Sang-Joon Cho, vice-président exécutif de Park Systems, a souligné l'engagement de l'entreprise en matière de leadership technologique : « Grâce aux décennies d'expertise et d'innovation de Park Systems dans le domaine des mesures de précision et de l'automatisation, nous avons optimisé la série FX Large Sample AFM pour l'analyse des plaquettes de silicium au plus haut niveau dans les domaines de l'industrie et de la recherche. Le Park FX300 et les systèmes nano-IR redéfinissent les frontières entre les applications AFM industrielles et de recherche, permettant à nos clients de disposer de l'AFM le plus avancé qui soit, et de façonner ensemble l'avenir des nanosciences ».
Avec ses dernières innovations, Park Systems continue de consolider sa position de leader mondial dans le domaine de la microscopie à force atomique, en fournissant des solutions de pointe pour répondre aux demandes en constante évolution de la recherche sur les semi-conducteurs et les nanosciences.
À propos de Park Systems Corp. (KOSDAQ : 140860)
Pionnier et leader des solutions de nanométrologie avec sa fabrication de microscopes à force atomique (AFM) de la plus haute qualité, Park Systems Corp. s'est encore distingué de ses concurrents par son engagement inégalé à cultiver et à entretenir des relations professionnelles durables avec des chercheurs et des ingénieurs de tous les domaines scientifiques et de diverses disciplines, notamment la science des matériaux, la physique, la chimie, les sciences de la vie, les semi-conducteurs et le stockage de données. La mission de l'entreprise est de favoriser les innovations à l'échelle nanométrique pour les scientifiques et les ingénieurs et de faire progresser les découvertes scientifiques. Park Systems compte parmi ses clients les plus grandes entreprises de semi-conducteurs et des universités de recherche du monde entier. Avec son siège à Suwon, en Corée, et ses bureaux régionaux en Amérique, en Europe et en Asie, Park Systems est cotée à la Bourse de Corée (KOSDAQ). Pour en savoir plus, consultez le site www.parksystems.com.
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